Malzeme Karekterizasyonunda “Sem” Cihazının Önemi

field-emission-sem

field-emission-sem.mth33693_200_200

“Taramalı Elektron Mikroskobu” anlamına gelen “SEM”;elektron mikroskopları içerisinde en çok kullanılanıdır. Bunun nedeni ise, numune hazırlama işleminin çok kolay oluşu ve hatta bazı durumlarda numune hazırlama işleminin gerekmeyişidir.

Elektron demetli aletler arasında en çok kullanılan bu mikroskopla,hem parlatılmış hemde pürüzlü yüzeylerden net görüntüler elde edilebileceği gibi,yardımcı bir cihaz (EDAX veya KEVEX ticari isimli) kullanmak suretiyle numune içerisindeki çok küçük boyutlu fazların kalitatif ve kantitatif analizleri yapılabilir.Sem cihazı 4 ayrı görüntü yöntemi oluşturur.

  • Sekonder elektron yöntemi
  • Geri saçılan elektron yöntemi
  • Numune akım yöntemi
  • X-ışınları görüntü yöntemi

Sem için numune hazırlama işlemi kolaydır.Pürüzlü yüzeylerden görüntü elde etmek mümkündür.Ancak hassas inceleme için birtakım numune hazırlama operasyonu yapılabilir.Yalıtkan malzemelerin incelenebilmesi için,numune yüzeyi çok ince iletken bir tabaka ile kaplanmalıdır.Sem ile birlikte bir enerji-dispersif X-ışınları dedektörü kullanmak suretiyle,numune üzerindeki küçük parçacıkların (fazların)kimyasal analizleri yapılabilir.

Kaynaklar: Karadeniz Teknik Üniversitesi/Mühendislik Fakültesi/Yardımcı Ders Kitabı(Prof.Dr. Temel Savaşkan)